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Canon I线光刻机
Canon I线光刻机使用365nm波长的光源进行曝光，是实现微米级半导体器件制造的关键设备，具备更为优异的对准精度，尤其在4寸、6寸、8寸及12寸晶圆片的生产上有着广泛的应用。
产品详情
| 主要机型及参数 | ||||||
| 型号 | 类型 | 分辨率 （μm） |
N.A. | 倍率 | 最大视场 （mm） |
套刻精度 （nm） |
| FPA-3000 iW | 步进式 | 0.80 | 0.24 | 2:1 | 50*50 | 120 |
| FPA-3000 i4 | 0.35 | 0.45~0.63 | 5:1 | 22*26 | 70 | |
| FPA-3000 i5 | 0.35 | 0.45~0.63 | 5:1 | 22*26 | 60 | |
| FPA-3000 i5+ | 0.35 | 0.45~0.63 | 5:1 | 22*26 | 50 | |
| FPA-3030 i5+ | 0.35 | 0.45~0.63 | 5:1 | 22*26 | 50 | |
| FPA-5500 iZ | 0.35 | 0.45~0.57 | 4:1 | 26*33 | 45 | |
| FPA-5500 iZ+ | 0.35 | 0.45~0.57 | 4:1 | 26*33 | 45 | |
| FPA-5510 iZ | 0.35 | 0.45~0.57 | 4:1 | 26*33 | 30 | |